高能激光焦点传感器  

出　　处：《国外传感技术》2005年第2期45-45,共1页

摘　　要：课题提供一种高能激光焦点传感器，具备干涉测量手段，用于检测能量激光束的焦点偏移。

关 键 词：高能激光焦点传感器 相位曲率 焦点偏移修正 焦点偏移 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]