Nd:YAG固体激光铣削单晶硅表面形貌研究  

Surface Appearance Study of Nd:YAG Solid Laser Milling on Single Crystal Silicon

作　　者：袁根福[1] 曾晓雁[2] 

机构地区：[1]安徽建筑工业学院激光加工联合研究中心,合肥230022 [2]华中科技大学激光技术国家重点实验室,武汉430074

出　　处：《应用激光》2005年第3期145-147,共3页Applied Laser

基　　金：安徽省教育厅重点基金资助(课题编号2005KJ040ZD)

摘　　要：利用体视显微镜和扫描电子显微镜观察Nd:YAG固体脉冲激光铣削的单晶硅表面形貌,利用能谱分析仪EDAX对铣削表面进行成分分析。不同功率密度的激光铣削的单晶硅表面形貌差别比较大,其表面化学成分也存在较大差别。The surface appearances of Nd:YAG solid laser milling on single crystal silicon were observed and analysed by using stereomicroscope and scan electron microscope , and the milling surface elements were studied by EDAX . The surface appearances of single crystal silicon were of difference with laser milling power density , and so the surface elements were.

关 键 词：Nd:YAG 表面形貌 激光铣削 单晶硅 固体 电子显微镜观察 表面化学成分 体视显微镜 能谱分析仪 成分分析 EDAX 功率密度 差别 

分 类 号：TN248.13[电子电信—物理电子学] O484.1[理学—固体物理]