激光吸收光谱成象技术探讨  

作　　者：施柏煊[1] 龚健[1] 缪进 

机构地区：[1]浙江大学光科系,310027

出　　处：《光谱仪器与分析》1995年第3期1-5,共5页

基　　金：本研究是国家自然基金

摘　　要：本文叙述以激光光声(光热)光谱技术为基础的一种吸收光谱成象技术。指出其显示的灰度编码象除了可直观地显示物质表面的吸收均匀性,识别可能存在的杂质外,还可检测到次表面的缺陷、杂质等。实验初步论证了以激光为光源的方案具有高的信噪比,并分别以输出10mw 的 He—Ne 激光和输出3w 的 CO_2激光为光源,获得了表征单晶硅园盘切片表面吸收特性的信号振幅象。

关 键 词：吸收光谱 光热效应 成象 激光 

分 类 号：TH744.501[机械工程—光学工程] TN249[机械工程—仪器科学与技术]