半导体柔性制造技术  

作　　者：金圣东[1] 

机构地区：[1]电子工业部第十三研究所

出　　处：《半导体技术》1995年第6期1-3,共3页Semiconductor Technology

摘　　要：半导体柔性制造技术电子工业部第十三研究所（石家庄０５００５１）金圣东东欧剧变，苏联解体，此极对峙格局瓦解，持续半个世纪的冷战时代终告结束。今后，爆发全球性世界大战的可能性变小，随之而来的是频繁引发的各种局部战争。在冷战时期长期被掩盖的一些国家或地区原...

关 键 词：半导体 柔性制造技术 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学] TH165[机械工程—机械制造及自动化]