离子束薄膜合成及材料表面优化  

作　　者：杨根庆 柳襄怀 

出　　处：《薄膜科学与技术》1995年第3期232-239,共8页

摘　　要：本文简略地回顾了离子束材料表面优化研究领域的发展及现状，着重介绍上海冶金研究所离子束开放研究实验室近年来在离子束薄膜合成及材料表面改性方面的研究工作。同时对离子束技术在工业中的应用进行了探讨。

关 键 词：离子束 薄膜合成 材料表面改性 掺杂 

分 类 号：TB43－39[一般工业技术]