非晶含锡有机膜的热处理行为  

作　　者：周坤磷 刘维民 

出　　处：《薄膜科学与技术》1995年第4期356-361,共6页

摘　　要：射频辉光放电等离子体聚合四丁基锡制备了非晶含锡有机膜，研究了该膜在大气中的热处理行为。表明在不同热处理温度下，发生了锡的氧化、有机物脱除、晶化和相变等过程。

关 键 词：含锡有机膜 热处理 晶化 相变 

分 类 号：TG15[金属学及工艺—热处理]