一种比金刚石还硬的新型材料—β—C3N4  

作　　者：吴招促 俞跃辉 

出　　处：《薄膜科学与技术》1995年第4期349-355,共7页

摘　　要：β－Ｃ３Ｎ４晶体是一种新型假想材料，其结构和β－Ｓｉ３Ｎ４晶体相似。β－Ｃ３Ｎ４材料从理论上预言可能具有比金刚石还大的体积模量，并有较为特殊的电学和光学性能。高含氮量的ＣＮ膜和多晶β－Ｃ３Ｎ４的研究成为目前的研究重点。原子比Ｎ：Ｃ〉１的ＣＮ膜和颗粒直径约为０．５μｍ的多晶已有报导。多晶体的研究倾向于采用低能Ｎ离子辅助沉积。掺杂元素的研究对ＣＮ膜的半导体性能的影响将成为该领域的又一新的研究方向。

关 键 词：金刚石 体积模量 材料 β-C3N4材料 

分 类 号：TB39[一般工业技术—材料科学与工程]