簧片式硅压力传感器的研制  

Development of a Leaf Spring Silicon Pressure Transducers

作　　者：温明生[1] 唐世洪[1] 刘理天[2] 谢会开[2] 

机构地区：[1]湖南吉首大学物理系,湖南吉首416000 [2]清华大学微电子研究所,北京100084

出　　处：《传感技术学报》1995年第1期22-26,共5页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：湖南省教委资助的"八.五"重点科研项目

摘　　要：介绍了采用簧片式硅弹性膜芯片研制成功的压力敏感元件和传感器,利用这种硅芯片已制得灵敏度和量程范围各不相同的性能优良的压力传感器.This paper reports a new silicon chip structure that has a leaf spring silicondiaphragm. We used this silicon ship for good performence siliccon pressure transducerswith various kinds of sensitivities and full-spans.

关 键 词：硅 压力传感器 传感器 研制 

分 类 号：TH812[机械工程—仪器科学与技术] TP212[机械工程—精密仪器及机械]