对超高纯水中不挥发剩余物质的监测  

作　　者：蔡君质[1] 

机构地区：[1]中国电子工程设计院

出　　处：《电子工业专用设备》1995年第2期54-54,共1页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：对超高纯水中不挥发剩余物质的监测中国电子工程设计院蔡君质电子工业中半导体晶片生产的精细加工已由亚微米进入深亚微米，因此，除了要求专用的加工设备精密化和自动化外，还要求有优质的环境处理设备，它是影响成品生产的重要环节。目前在晶片生产中所采用的洁净室技术...

关 键 词：超高纯水 不挥发 剩余物质 监测 

分 类 号：TQ085.4[化学工程]