微机电一体化与纳米技术  

作　　者：赵玉珍[1] 段宝岩[1] 

机构地区：[1]西安电子科技大学信息科学研究所,西安电子科技大学电子机械学院

出　　处：《电子科技》1995年第3期1-4,8,共5页Electronic Science and Technology

摘　　要：文中介绍了当前国际上微型机械、微型机械电子学的发展现状与趋势。提出了进行以微米、纳米技术为基础的微机电一体化新技术研究的建议。

关 键 词：微机电一体化 纳米技术 微型机械 

分 类 号：TH－39[机械工程]