多孔SiO_2厚膜湿度传感器的制造及其湿敏特性  

Manufacture and Humidity Sensitivity of Porous SiO_2 Thick Film Humidity Sensors

作　　者：方湘怡[1] 武明堂[1] 姜芸[1] 李正[1] 

机构地区：[1]西安交通大学理学院

出　　处：《电子元件与材料》1995年第5期19-22,共4页Electronic Components And Materials

摘　　要：用Ｓｏｌ－Ｇｅｌ方法制备了三种ＳｉＯ２凝胶，并以此制造了多孔ＳｉＯ２厚膜湿度传感器。其电容量－湿度关系呈开关特性，转变点约在８５％ＲＨ。Three kinds of SiO2 gel have been prepared by sol-gel method and then porous SiO2 thick film humidity sensors are made. Their humidity dependences of capacitance have switching characteristics with transition point about 85%RH.

关 键 词：二氧化硅 湿敏特性 湿度测量 制造 

分 类 号：TH837[机械工程—仪器科学与技术]