蒸铝铝层厚度测量控制仪  

作　　者：胡建平 

出　　处：《光电技术》1995年第1期53-54,共2页

关 键 词：蒸铝 铝层 厚度 测量 控制仪 

分 类 号：TN107[电子电信—物理电子学]