用相位调制方法测量光盘盘基应力双折射的精度分析  

Precision Analysis of Phase-Modulation Method for Measuring Stress Birefringence of Optical-Disk Substrate

作　　者：朱莉 李锡善[1] 徐文东[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所

出　　处：《光学学报》1995年第9期1258-1265,共8页Acta Optica Sinica

摘　　要：偏振相位调制方法是测量微小双折射的一种高精度检测方法。本文系统全面地分析了以ＰＭＣＳＡ结构形式测量光盘盘基应力双折射的相位调制方法中，由各种误差源造成的对测试结果的影响。olarized phase-modulation method is used to measure small birefringence with high precision. The effects on measuring results caused by some kinds of error sources in this method using PMCSA form for measuring opticaloisk substrate are analyzed. Results ontuined show that the presision is within 0. 03 nm.

关 键 词：相位调制 精度分析 光盘 应力分析 

分 类 号：O348.1[理学—固体力学] TP333.4[理学—力学]