表面微粗糙度椭偏法的测定  

作　　者：陈大好[1] 刘旭[1] 顾培夫[1] 

机构地区：[1]浙江大学光科系,杭州310027

出　　处：《光学仪器》1995年第4期29-30,共2页Optical Instruments

摘　　要：叙述了一种用椭偏技术快速测量表面微粗糙度的方法，推导了在单层膜模型下微粗糙表面的反射特性，给出了根据椭偏测量所得位相差△值估算均方根粗糙度的公式以及对两种不同微粗糙度表面测量的结果。

关 键 词：椭偏技术 微粗糙度 光学薄膜 测定 

分 类 号：TH741.3[机械工程—光学工程]