微光电子的重要技术──近场扫描光学显微技术  

出　　处：《激光与红外》1995年第3期60-61,共2页Laser & Infrared

摘　　要：微光电子的重要技术──近场扫描光学显微技术近场扫描光学显微技术（ｎｅａｒ—ｆｉｅｌｄｓｃａｎｎｉｎｇｏｐｔｉｃａｌｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ，ＮＳＯＭ）是由美国ＡＴ＆ＴＢｅｌｌ实验室从九十年代开发，用于在数微米面积内工作的一种新型光学观察技术。在此之前，光...

关 键 词：近场 扫描 光学显微术 微光电子 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]