激光测微仪测量准确度的研究  

作　　者：李胜利[1] 宋鹏[1] 金泰义[1] 徐育[1] 

机构地区：[1]中国科学技术大学

出　　处：《计量技术》1995年第9期2-5,共4页Measurement Technique

摘　　要：本文分析了激光测微仪测量部分的基本原理，讨论了主要部件所带来的测量误差，并在此基础上报出了有效的误差校正方法，以提高仪器的测量准确度。

关 键 词：位移测量 半导体激光器 精度 测微仪 

分 类 号：TH822.01[机械工程—仪器科学与技术]