单侧耦合16通道100GHz硅基二氧化硅阵列波导光栅的研制  

Single-side alignment of 100GHz 16 channel Si-SiO_2 based on AWG design and fabrication

作　　者：李健[1] 安俊明[1] 王红杰[1] 夏君磊[1] 郜定山[1] 胡雄伟[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所,北京100083

出　　处：《光学技术》2005年第4期583-585,共3页Optical Technique

基　　金：国家重点基础研究发展规划资助项目(G2000036602);国家自然科学基金资助项目(69889701)

摘　　要：介绍了一种新型单侧耦合16通道、100GHz通道间隔的硅基二氧化硅阵列波导光栅(AWG)。通过增加一个Y分支波导结构,将AWG的输入、输出波导等间距整齐排列,仅用一个光纤阵列(FA)就可以对AWG器件进行耦合封装。这种AWG的结构设计可有效地减小器件尺寸和增加波导结构的弯曲半径,可减少器件的抛光和耦合时间,可降低器件的成本。A novel design 100-GHz-spaced 16-channel arrayed-waveguide grating （AWG） based on silica-on -silicon chip was reported. This was achieved bv adding a Y branch to the AWG and arranging the input/output channel in a neat row, so the whole configuration can be aligned and packaged using only one fiber-array. This configuration can decrease the device＇s size, enlarge the minimum radius of curvature, save time on polishing, alignment and reduce the chip＇s fabrication cost.

关 键 词：光波导 波分复用/解复用器 阵列波导光栅 

分 类 号：TN25[电子电信—物理电子学]