日开发出新型电荷耗散剂  

出　　处：《上海化工》2005年第8期37-37,共1页Shanghai Chemical Industry

摘　　要：日本昭和电工公司（SDK）最近开发出Espacer 300F，这是电荷耗散剂（charge dissipating agent）的一种新品级。在制造集成电路时，它能显著地提高电子束（EB）平版印刷技术的效率。

关 键 词：散剂 电荷 开发 平版印刷技术 集成电路 电子束 

分 类 号：TN402[电子电信—微电子学与固体电子学]