力平衡加速度传感器设计分析  

Design analysis of force balance accelerometer

作　　者：李彩华[1] 

机构地区：[1]中国地震局工程力学研究所

出　　处：《传感器技术》2005年第8期46-48,共3页Journal of Transducer Technology

摘　　要：介绍了差容式力平衡加速度传感器的工作原理,推算了该传感器的运动方程,并推导出力平衡加速度传感器的自振频率、阻尼参数、幅频响应的计算公式,得出了传感器中质量块质量m、比例电阻R、微分电容C直接决定传感器的自振频率、频带宽度和传感器的输出灵敏度。Principle of force balance accelerometer based on differential capacitance is introduced. Movement function of accelerometer is calculated,and three key specifications of accelerometer, natural frequency,damp and amplitude response, lie on three components. The three components are mass m, proportional resistance R, differential capacitance C. Natural frequency, bandwidth, output sensitivity of accelerometer are determined by the three components.

关 键 词：力平衡加速度传感器 自振频率 阻尼 幅频响应 频带宽度 灵敏度 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]