薄膜X射线应力分析  

作　　者：杨于兴[1] 穆树人[1] 

机构地区：[1]上海交通大学,200030

出　　处：《理化检验（物理分册）》1995年第5期29-32,共4页Physical Testing and Chemical Analysis(Part A:Physical Testing)

摘　　要：由于X射线薄膜衍射几何的特点,致使薄膜X射线应力分析的精度很难达到常规应力分析水平。本文采用真空充阑、内标校正的途径来提高薄膜X射线应力分析的精度。

关 键 词：薄膜 X射线衍射 应力分析 真空光阑 

分 类 号：O484.5[理学—固体物理]