多通道半导体离子传感器的研究  

THE STUDY OF MULTI-THOROUGHFARE SEMICONDUCTOR ION SENSORS

作　　者：傅敏恭[1] 龙定华 邹子亚[1] 

机构地区：[1]南昌大学化学系,珠海市西区金域电子公司,中科院电子学研究所

出　　处：《南昌大学学报（理科版）》1995年第2期170-175,共6页Journal of Nanchang University(Natural Science)

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：本文采用半导体工艺、封装技术、表面化学修饰技术制备多通道半导体离子传感器，该离子传感器能同时输出三个稳定的信号，通过钾离子敏感膜的实验，结果表明，传感器的响应性能良好。By using semiconductor technology,the encapsulation technology and the surfacechemical modifying technology,multithoroughfare semiconductor ion sensors have been favri-cated correspondingly. The sensor showed many good characteristics,includir that three stabi-lization singnals of detection can be exported simultaneously by each sensor. The experimentionof K￣+ sensitive membranes shows that the averged slopes of K￣+ eponse are 56 mV/pK and theperformance of the sensors will satisfy the demand of applications.

关 键 词：离子传感器 多通道 钾离子敏感膜 半导体 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]