激光化学气相淀积铁薄膜  

作　　者：李士新 丁泽安[1] 楼祺洪[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海光机所

出　　处：《中国激光》1989年第1期62-64,共3页Chinese Journal of Lasers

摘　　要：用氯化氙准分子激光分解Fe(CO)_5在石英片上沉积铁薄膜.研究了激光能量密度、淀积时间对膜层特性的影响,获得最大淀积速率1.

关 键 词：铁薄膜 准分子激光 薄膜淀积 激光 

分 类 号：TN304.055[电子电信—物理电子学]