ITO薄膜透明导体的微结构及加工  

作　　者：邓志杰 

出　　处：《有色与稀有金属国外动态》1995年第6期3-4,共2页

关 键 词：氧化铟 薄膜 ITO 显微组织 半导体 PVD 

分 类 号：TN304.21[电子电信—物理电子学]