氮化铝粉体合成研究的最新进展  被引量:4

The Latest Developments of Aluminum Nitride Powder Synthesis

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作  者:蔡杰[1] 张宝林[1] 罗新宇[1] 庄汉锐[1] 李文兰[1] 郭景坤[1] 

机构地区:[1]中国科学院上海硅酸盐研究所

出  处:《真空电子技术》1995年第2期28-31,11,共5页Vacuum Electronics

摘  要:本文综述了近年来国内外在氯化铝的粉体合成及其表面处理的最新进展。he latest developments of aluminum nitride powder synthesis and its surface treatment have been reviewed.

关 键 词:氮化铝 粉体 合成 表面处理 

分 类 号:TN304.23[电子电信—物理电子学] TN304.05

 

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