分子束外延的计算机控制  

作　　者：章怡[1] 蒋最敏[1] 卢学坤[1] 

机构地区：[1]复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海200433

出　　处：《真空科学与技术》1995年第4期266-268,共3页Vacuum Science and Technology

摘　　要：报导了一种专门为MBE生长而设计的计算机控制系统，改善并扩展了原控制单元SentinelⅢ的功能，并展示了由它控制生长的各种SiGe结构。

关 键 词：分子速 外延 控制生长 计算机控制 

分 类 号：TN405.984[电子电信—微电子学与固体电子学]