大型钛薄膜吸附泵的抽速测试装置  

A PUMPING SPEED MEASUREMENT APPARATUS FOR THE LARGE Ti-FILM GETTER PUMP

作　　者：李高云[1] 

机构地区：[1]中国科学院合肥等离子体物理研究所

出　　处：《真空与低温》1995年第1期2-4,共3页Vacuum and Cryogenics

摘　　要：叙述了２×１０￣５Ｌ／ｓ钛升华泵的一种抽速测试方法，介绍了实验原理和测试装置设计。This paper describs a pumping speed measurement method for the 2×10￣5L/s Titanium sublimation pump,Its experiment principle and measurement apparatus are mentioned.

关 键 词：钛薄膜 抽速 测量 吸附泵 

分 类 号：TB752.51[一般工业技术—真空技术] TN107[电子电信—物理电子学]