可调波长半导体激光测量台阶高度方法研究  

Step Height Measurement with Tunable Diode Laser

作　　者：蒋天罡[1] 李岩[1] 王昕[1] 张书练[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器与机械学系

出　　处：《激光与红外》2005年第7期518-520,共3页Laser & Infrared

摘　　要：文章在分析台阶高度测量现状和背景的基础上,着重介绍了用半导体激光器实现台阶高度的绝对干涉测量方案,提出以可调谐半导体激光器作为光源,采用可调合成波长链法实现纳米级精度毫米级量程的台阶高度测量,并详细分析了本方案的原理、误差。In this paper, several non-contact optical methods of measurement of step height are introduced in brief, and the absolute distance interferometry with diode laser is emphasized hereinto. We conceive a CSWC ADI system with tunable diode laser to measure the step height in nanometer scale, and analyze the theoretic uncertainty of the experiment.

关 键 词：可调合成波长链 台阶高度 可调谐半导体激光器 绝对干涉测量 

分 类 号：TN247[电子电信—物理电子学]