MOCVD法制备金属陶瓷功能梯度材料的研究  

The Preparation of Metal-Ceramic Functional Gradient Materials by MOVCD

作　　者：章娴君[1] 郑慧雯[1] 张庆熙[1] 王显祥[2] 

机构地区：[1]西南师范大学化学化工学院,重庆400715 [2]四川农业大学生命科学与理学院,四川雅安625014

出　　处：《西南师范大学学报（自然科学版）》2005年第4期682-686,共5页Journal of Southwest China Normal University(Natural Science Edition)

基　　金：重庆市攻关资助项目

摘　　要：利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法,以Mo(CO)6,Si(OC2H5)4为物源,在Al2O3陶瓷基片上制备了金属陶瓷功能梯度材料,并用XPS,XRD,SEM等技术对其成分分布,物相组成和表面形貌进行测试和表征.结果表明:材料的组成沿厚度方向呈连续梯度变化,符合功能梯度材料的变化规律.The Mo/SiO2 Functional Gradient Materials have been developed on the ceramic substrates of Al2O3 by using metal organic chemical vapour deposition （MOCVD） with Mo（CO）6 and Si（OC2H5）4. The destribution of component, composition and surface configuration are measured by XPS, XRD and SEM. The result showed that the materials described in the paper conformed the law of the gradient materials.

关 键 词：功能梯度材料(FGM) 金属有机化学气相沉积(MOCVD) X射线光电子能谱(XPS) 表面形貌 

分 类 号：TB34[一般工业技术—材料科学与工程]