半导体纳米线的掺杂与显微结构研究  被引量:1

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作  者:俞大鹏[1] 

机构地区:[1]北京大学物理学院电子显微镜实验室,北京100871

出  处:《电子显微学报》2005年第4期281-281,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关 键 词:半导体纳米线 过掺杂 结构研究 半导体技术 微电子技术 功能器件 复杂系统 纳米器件 MN掺杂 

分 类 号:TN304[电子电信—物理电子学]

 

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