Ta_2O_5高温相结构  

Structure of Ta2O5 hight temperature phase

作　　者：刘显强[1] 韩晓东[1] 张泽[1] 季凌飞[2] 蒋毅坚[2] 

机构地区：[1]北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京100022 [2]北京工业大学激光学院,北京100022

出　　处：《电子显微学报》2005年第4期347-347,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关 键 词：TA2O5 相结构 高温相 半导体工业 介电系数 光电子元器件 单晶材料 电子显微学 单位面积 

分 类 号：TN304[电子电信—物理电子学]