高性能阴极荧光分析系统及其在氮化物半导体材料中的应用  

High performance cathodoluminescence and it's application in optical property investigation of the nitride semiconductors

作　　者：徐军[1] 徐科[2] 陈莉[1] 张会珍[1] 

机构地区：[1]北京大学物理学院电子显微镜实验室,北京100871 [2]北京大学物理学院宽禁带半导体研究中心,北京100871

出　　处：《电子显微学报》2005年第4期386-386,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关 键 词：阴极荧光分析系统 氮化物 半导体材料 场发射扫描电镜 发光强度 

分 类 号：TN304[电子电信—物理电子学]