硅压力传感器版图的计算机辅助设计  

CAD of Layout of Silicon Pressure Sensor

作　　者：吴静[1] 唐祯安[1] 牛德芳[1] 

机构地区：[1]大连理工大学电子工程系,大连116024

出　　处：《传感技术学报》1996年第1期7-10,共4页Chinese Journal of Sensors and Actuators

摘　　要：介绍利用AutoLisp语言编程实现硅压力传感器版图自动生成的CAD系统,并给出C型压阻式压力传感器版图的设计实例.A CAD system for design automation of pressure transducer is introduced.The layout is generated through AutoLisp programming. An design example is given fora C-type piezoresistive pressure transducer.

关 键 词：压力传感器 CAD 硅压力传感器 传感器版图 

分 类 号：TH812[机械工程—仪器科学与技术] TP212[机械工程—精密仪器及机械]