CCD抽样过程对傅里叶变换轮廓术测量的影响  

Influence of the Sampling of CCD Cameras in FTP

作　　者：陈文静[1] 陈锋[1] 苏显渝[1] 曹益平[1] 张启灿[1] 向立群[1] 

机构地区：[1]四川大学光电科学技术系,四川成都610064

出　　处：《光电子．激光》2005年第9期1074-1079,共6页Journal of Optoelectronics·Laser

基　　金：国家自然科学基金资助项目(10376018);四川省应用基础研究资助项目(olgy051-07)

摘　　要：针对傅里叶变换轮廓术(FTP)测量中的离散过程理论分析存在的不足,讨论了以前被忽略的CCD的取样过程以及CCD像元尺寸对FTP测量的影响,建立了完整的CCD抽样的数学模型,分析了CCD像元的光敏单元尺寸大小对FTP测量的影响,讨论了CCD取样所引起的信号失真和频谱混叠问题,给出了相关的表达式和判断准则,使得基于离散傅里叶变换的FTP分析方法更贴近实际测量。We discussed the influence of the p Fourier transform profilometry（FTP） which is xel size of CCD in the sampling process in ignored in theoretic analysis earlier. And an integrated mathematical model of sampling of CCD is established to analyze the influence of the pixel size of CCD in FTP. Signal distortion and superposition of spectra are also discussed. Correlative expression and criterion of estimation are presented which presses FTP based on discrete Fourier transform closer to practice.

关 键 词：傅里叶变换轮廓术(FTP) 抽样 测量精度 

分 类 号：TN247[电子电信—物理电子学]