r.f.PACVD制备的a—B1—xNx：H薄膜的微观结构及机构特性  

作　　者：王军 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1996年第7期15-16,共2页

关 键 词：射频 PACVD 硼 氮 碳 薄膜 微结构 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理]