用PCVD技术制备金刚石膜和氮化硼膜  

作　　者：张正模 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1996年第8期1-5,共5页

关 键 词：PCVD 金刚石 氮化硼 薄膜 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理]