圆盘型非接触压电微马达定子的振动分析  

Vibration Analyses of Stator for Disc-Type Non-Contact Piezoelectric Micromotor

作　　者：周广华 杨斌 刘景全 蔡炳初 

机构地区：[1]上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海200030

出　　处：《振动．测试与诊断》2005年第3期193-195,共3页Journal of Vibration,Measurement & Diagnosis

基　　金：国家自然科学基金资助项目(编号:50205017)

摘　　要：提出一种圆盘型非接触压电微马达,采用有限元方法分析了马达定子的振动模态和固有频率,对定子的振幅与施加电压的关系进行了数值分析。最后,采用激光多谱勒测振仪对定子的振型和振幅进行了测试,实验结果与有限元分析吻合较好,为马达定子的设计和优化提供了理论依据。This paper presents a disc-type non-contact piezoelectric motor .To gain a deeper understanding of the vibration characteristics of the motor,the finite element models are built to study the vibration mode and corresponding natural frequency of the motor.The vibration amplitudes of the stator surface are calculated by FEM.As a result,the experimental results obtained by using the laser Doppler vibrometer are in good agreement with the results of FEM.The numerical and experimental results give a useful guidelines for designing this motor.

关 键 词：压电马达 非接触 定子 有限元方法 

分 类 号：TM350[电气工程—电机]