薄膜残余应力有限元分析研究  

Finite Element Analysis Based on the Residual Stress of Thin Film

作　　者：张耀平[1] 张云洞[1] 凌宁[1] 许鸿[1] 

机构地区：[1]中国科学院光电技术研究所

出　　处：《激光与光电子学进展》2005年第10期23-26,22,共5页Laser & Optoelectronics Progress

基　　金：国家863计划资助课题。

摘　　要：利用有限元软件对薄膜残余应力进行了分析与计算,并与理论计算结果进行对比,说明所建立的模型是合理的。The residual stress in thin film is calculated and analyzed. The calculated result is compared with the theory result, which indicates that the model is reasonable.

关 键 词：残余应力 薄膜 有限元 有限元分析 计算结果 有限元软件 

分 类 号：TP334.2[自动化与计算机技术—计算机系统结构] TG404[自动化与计算机技术—计算机科学与技术]