应用在惯性约束核聚变系统中的压电陶瓷微机械手的设计  

Design and Application of Piezoelectric Ceramic Micro-mechanical Robotics Arm

作　　者：幺春娟[1] 裘祖荣[1] 于复生[1] 

机构地区：[1]天津大学精仪学院测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072

出　　处：《机床与液压》2005年第10期11-13,共3页Machine Tool & Hydraulics

基　　金：国家863探索基金项目(2003AA84ts05)

摘　　要：研制了应用在惯性约束核聚变装配系统中的压电陶瓷微机械手,并对压电陶瓷的驱动电路,计算机控制的硬件及软件系统设计,以及系统的标定方法等进行了详细的叙述。该机械手应用于惯性约束核聚变装配系统靶标的位置调整中,实验证明其位置误差小于1μm。A kind ot piezoelectric ceramic micro -mcchanlical ann was designed that it is used in the inertia constraint nuclearfusion （ICF） assembly robot system. The design idea of the piezuelectric ceramic drive power, the design of computer control hardware and software and the calibration method of PZT were described. Ira ICF assembly robot system, piezoelectric ceramic micro - mechanical arm is adopted to adjust the position of micro - sphere targel. The error was proved to be not more than 1μm.

关 键 词：微机械手 压电陶瓷 驱动电源 标定 

分 类 号：TP241[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]