新颖的光束整形光学系统扩大了准分子激光器的应用范围  

Novel Beam-shaping Optical System Expanding Excimer Laser Applications

作　　者：黄芳 

出　　处：《光机电信息》2005年第9期1-3,共3页OME Information

关 键 词：准分子激光器 光束整形 光学系统 应用 LAMBDA 高平均功率 平板显示器 脉冲能量 紫外波段 

分 类 号：TN248.22[电子电信—物理电子学] TN248.4