SrTiO_3基片上三面YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜的制备工艺  

作　　者：吴培钧 刘贵荣[1] 杨涛[1] 陈烈[1] 聂家财[1] 黄明强[1] 李林[1] 

机构地区：[1]中国科学院物理研究所国家超导实验室,北京100080

出　　处：《科学通报》1996年第7期659-661,共3页Chinese Science Bulletin

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：在最近10年里超导量子干涉器件(SQUID)得到了广泛的研究,高温超导体的发现进一步促进了这一器件的发展。几个小组已经报道了利用高T_c SQUID测量心磁的实验结果。然而迄今为止由于尚未解决高T_c线材及其超导连接问题,因而还没有有效地制成高T_c梯度线圈,这无疑限制了它的使用。为此高T_c梯度线圈的研制已成为引人注目的课题。本文报道在SrTiO_3(STO)基片上制备三面高T_c YBa_2Cu_3O_(7-x)(YBCO)超导薄膜的工艺、形貌及超导性能。由于基片上的薄膜在空间中两个端面相互平行通过中间膜彼此连接,因而只要采取适当的光刻技术,就可以制成SQUID磁场梯度计。

关 键 词：高TC 钛酸锶 超导体 薄膜 YBCO 制备 

分 类 号：TM262[一般工业技术—材料科学与工程]