放电激励的100W　XeCl准分子激光器  

Discharge-Pumped 100 W XeCl Excimer Laser

作　　者：余吟山[1] 方晓东[1] 李会 汪建业 张志平 高月凤 李广寅 

机构地区：[1]中国科学院安徽光学精密机械研究所

出　　处：《量子电子学》1996年第4期329-331,共3页

摘　　要：介绍一台放电泵浦的ＸｅＣｌ准分子激光器。其最大单脉冲能量５５０ｍＪ。A discharge-pumped excimer laser is described. The maximan output energy is 550 mJ. The average power of 106 W is obtained when the laser is working at the repitition rate of 280 Hz.

关 键 词：准分子激光器 放电激励 氯化氙 

分 类 号：TN248.22[电子电信—物理电子学]