IC检测的图像预处理及芯片定位  

Image Preprocessing and Chip Positioning for IC Detection

作　　者：戚其丰[1] 廖广军[1] 胡跃明[1] 张浩[1] 

机构地区：[1]华南理工大学自动化科学与工程学院,广东广州510640

出　　处：《计算机测量与控制》2005年第12期1315-1317,共3页Computer Measurement &Control

基　　金：国家自然科学基金(60374016);广东省重大装备创新技术招标项目(0612A2003040/6);广东省粤港关键领域重点突破项目(20041A01);广东省科技厅重大科技攻关专项(2004A10403001);广州市重点科技攻关计划项目(2003Z2-D9011)

摘　　要：全自动上芯机是用于芯片生产后工序的关键设备之一,机器视觉伺服系统是提高该设备产能和质量的关键系统,而图像预处理和芯片定位是其机器视觉的关键技术之一。为了消除采集图像与真实图像之间的差异,实现芯片精确定位,采用中值滤波算法和直方图算法实现图像的去噪和增强,并分析了图像相似性测量算法实现快速模板匹配。实验结果证明了算法的有效性和可靠性,为进一步提高芯片缺陷检测的精度提供了保障.Die Bonding machine is one of the primary equipments for chip production process. Image preproeessing and chip positioning are keys of the machine vision which has been applied in the servo system widely. To mitigate the difference between the grab--image data and the real world image data, and thus realize chip positioning, Median Filtering algorithm for suppressing noise, histogram algorilhm for edging enhancement and image proximity measure algorithm for pattern matching are proposed in this paper. The experiment data explains the excellent efficiency and the reliability about the algorithms.

关 键 词：全自动上芯机 图像预处理 芯片定位 图像相似性测鞋法 

分 类 号：TP23[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]