倾斜溅射具有面内各向异性的TbFe巨磁致伸缩薄膜  

出　　处：《金属功能材料》2005年第6期47-47,共1页Metallic Functional Materials

摘　　要：由于TbFe薄膜在微机由系统（MEMS）中的广泛应用，如表面声波器件，微电机，微型泵及延迟线等，受到了人们极大的兴趣。由于TbFe膜有很大的磁各向异性，所以只有加很大的外磁场时，一般达几千奥斯特（Oe）才能有明显的移动，但是一般微型驱动装置只要求几个奥期特，因此限制了TbFe膜在微型设备中的使用。为了解决这一问题进行了很多研究，如在TbFe中添加B，这样外磁场在8kA／m下就出现108×10^-6（ppm）的移动。多层膜可减小磁品各向异性，提高软磁性能，从而改善了膜的低场磁各向异性。H．C．Jing等采用直流磁控倾斜溅射方法制取了TbFe薄膜。

关 键 词：磁致伸缩薄膜 磁各向异性 溅射 面内 表面声波器件 驱动装置 微型设备 软磁性能 微型泵 外磁场 

分 类 号：TG139.8[一般工业技术—材料科学与工程] TN253[金属学及工艺—合金]