可直接测定低压水银灯紫外线照度的检测仪  

出　　处：《机电工程技术》2005年第12期6-6,共1页Mechanical & Electrical Engineering Technology

摘　　要：日本岩崎电气（总部：东京）日前开发出一款可直接检测低压水银灯（发光波长为185nm）紫外线照度和光量的检测仪——185nm型钻石紫外线监测仪。其受光元件使用光电导型钻石传感器芯片，其特点是具有很高的耐紫外线及耐热性。低压水银灯一般用于胶片与树脂的表面改质、臭氧洗净、半导体干式洗净等工艺。

关 键 词：耐紫外线 水银灯 检测仪 低压 直接测定 照度 发光波长 直接检测 表面改质 监测仪 

分 类 号：TN383.1[电子电信—物理电子学] TQ326.55[化学工程—合成树脂塑料工业]