凸角补偿技术  

Convex Corner Compensation Technologies

作　　者：孙洪强 徐宇新（审核） 

出　　处：《导航与控制》2005年第4期48-49,共2页Navigation and Control

摘　　要：凸角补偿技术是在硅微机械加工技术中应运而生的。因为在利用硅各向异性腐蚀技术制备较复杂的微结构时，常常出现图形畸变，较突出的是边缘沿〈110〉方向布置的方形台面出现凸角缺陷，这对传感器的制做及优化设计很不利。为了减少或避免凸角被刻饰掉，必须在掩膜凸角处附加一些专门的结构。通常是根据不同的腐蚀液，出现的优先腐蚀面不同而采取不同的掩膜补偿形状。

关 键 词：补偿技术 凸角 硅微机械加工技术 各向异性腐蚀技术 图形畸变 优化设计 微结构 传感器 腐蚀液 膜补偿 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学] TG721[金属学及工艺—刀具与模具]