金刚石薄膜探测器的器件结构研究  

作　　者：王林军[1] 楼燕燕[1] 苏青峰[1] 史伟民[1] 夏义本[1] 

机构地区：[1]上海大学材料科学与工程学院,上海200072

出　　处：《激光与光电子学进展》2005年第12期32-32,30,共2页Laser & Optoelectronics Progress

基　　金：国家自然科学基金(No.60577040)上海市重点学科(No.T0101)上海市应用材料研究与发展基金(No.0404)资助。

摘　　要：研究了两种器件结构(共平面和三明治)对金刚石薄膜辐射探测器性能的影响。研究表明,共平面结构器件在 241Am 5．5MeVα粒子辐照下的计数率、电荷收集效率、响应电流和能量分辨率等性能参数均优于三明治结构。Raman散射 测试表明,造成上述结果主要是由于金刚石薄膜的成核边和生长边具有不同的微结构特征而引起。

关 键 词：辐射探测器 金刚石薄膜 Α粒子 

分 类 号：TN304.18[电子电信—物理电子学] TL81[核科学技术—核技术及应用]