碲镉汞合金组分分布的描述方法  

The Method used for Description of HgCdTe Compsition Distribution

作　　者：蓝慕杰[1] 赵显峰[1] 周士仁 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学微电子技术教研室

出　　处：《激光与红外》1996年第1期57-58,共2页Laser & Infrared

摘　　要：介绍了一种利用ＥＤＸ和自动数据处理程序相结合，用于ＨｇＣｄＴｅ晶体组分分布研究的描述方法。实际使用结果表明，该方法满足ＨｇＣｄＴｅ晶体组分分布研究的要求，具有快速直观的特点，对指导工艺调整有重要意义。该法可用于其它半导体材料的成分分析。

关 键 词：HGCDTE 组分分析 合金 红外探测 

分 类 号：TN215[电子电信—物理电子学] TG132[一般工业技术—材料科学与工程]