双束共蒸发制备Fe－Cu包埋团簇  

BI-BEAM CO-EVAPORATION OF Fe-Cu EMBEDDED CLUSTERS

作　　者：王浩[1] 赵子强[1] 钟运成 韦伦存[1] 卢希庭[1] 

机构地区：[1]北京大学重离子物理研究所

出　　处：《微细加工技术》1996年第1期40-43,共4页Microfabrication Technology

基　　金：中国博士后科学基金;国家自然科学基金

摘　　要：基于气体聚集（ＧＡ）形成团簇的过程，利用双束蒸发共沉积方法，在室温下成功地制备了Ｆｅ－Ｃｕ纳米磁性包埋团簇样品。对样品的ＴＥＭ／ＥＤ分析表明，平均直径为２０ｎｍ左右的Ｆｅ团簇被Ｃｕ原子所包裹，形成了以Ｆｅ团簇为芯，Ｃｕ原子为壳的良好的芯－壳式包埋结构。Based on Gas-Aggregation (GA) process, nanometer size Fe-Cu embedded clusters are produced by bi-beam co-evaporation method at room temperature. TEM/ED investigation shows that Fe clusters about 20urn in diameter are embedded in Cu matrix, and the core--shell structure with Fe cluster being the core and Cu atoms being the shell is well formed in so-prepared specimens.

关 键 词：铁磁材料 双束蒸发 Fe-Cu包埋团簇 团簇 

分 类 号：TM271[一般工业技术—材料科学与工程]