溶胶－凝胶法在平面光波导薄膜中的应用  

Application of Sol-Gel Process in Film Optical Planar Waveguides

作　　者：翟继卫 张良莹 姚熹 

机构地区：[1]西安交大电子材料研究室

出　　处：《压电与声光》1996年第4期264-269,共6页Piezoelectrics & Acoustooptics

摘　　要：溶胶－凝胶工艺在薄膜制备方面有其独特的优越性，如工艺过程温度低、成分均匀、纯度高、成膜面积大等。近年来已在薄膜制备方面得到广泛应用。本文简要地综述了溶胶－凝胶工艺在制备平面光波导薄膜中的应用。Sol-Gel process has some special advantages in fabrication of thin-films,such aslower temperature in fabrication process, uniformer composition higher purity and larger areathin-film.The technique has found wide use in fabriction of thin-films.This paper summarized theapplication of Sol-Gel technique in the film optical planar waveguides.

关 键 词：溶胶-凝胶 光波导 薄膜 激光写入图形 

分 类 号：TN252.05[电子电信—物理电子学]