实时红外光学传感器  

作　　者：高 

出　　处：《红外》2006年第2期10-10,共1页Infrared

摘　　要：采用不可见光光学传感器的自动传感装置正在被越来越多地结合到工业和制造设施中。本专利说明书图1所示的架空式红外传感运送装置就是一个典型的例子。这种运送装置装在一个自动净化室半导体晶片设施中用于运送半导体晶片。每个运送装置中均装有能投射三维光束的红外传感器。这些传感器主要用于正在移动的运送装置的安全保护和导航。当红外光束中断时，运送装置便会停止运动。因此,需要经常对红外传感器进行校直。

关 键 词：红外光学传感器 红外传感器 传感装置 半导体晶片 实时 红外光束 专利说明书 安全保护 运送 可见光 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]